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產(chǎn)品詳細說明
INFICON 移動推車使 Transpector CPM（緊湊型過程監(jiān)視器）成為移動故障排除儀器。
獨立的推車允許系統(tǒng)從*個工具運輸?shù)搅?個工具，并且可以靈活地調(diào)整到不同的工具高度。機械臂機構(gòu)允許采樣系統(tǒng)扭轉(zhuǎn)、旋轉(zhuǎn)和垂直移動，這使得這款移動推車非常適合狹窄的生產(chǎn)空間。
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