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產(chǎn)品詳細(xì)說明
前所未有的單磁控和雙磁控濺射功率控制
使用經(jīng)過現(xiàn)場驗證的雙*脈沖直流技術(shù)將工藝性能提升到新水平。
*進(jìn)的波形控制允許過程微調(diào)
適用于雙脈沖和單脈沖磁控濺射應(yīng)用
緊湊的設(shè)計結(jié)合了直流和脈沖
PowerInsight by Advanced Energy? 數(shù)據(jù)收集和分析平臺（可選）
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