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產品詳細說明
硅晶圓價格的不斷上漲和對成品的需求意味著報廢晶圓的成本比以往任何時候都高。因此，了解您的工藝并監(jiān)控缺陷已成為半導體制造中心的*要任務。Transpector MPH 氣體分析系統旨在為您的所有氣體分析應用提供行業(yè)**的性能，從而幫助您*大限度地提高芯片產量并*大限度地減少工具停機時間。結合較低的總體擁有成本和較高的平均故障間隔時間，Transpector MPH 比市場上任何其他殘余氣體分析儀 (RGA) 更能幫助您實現盈利。
INFICON 利用其在氣體分析過程控制設備方面的專業(yè)知識，創(chuàng)建了具有行業(yè)**的數據收集速度、*小可檢測分壓和信噪比的 RGA。所有這*切，都不會犧牲您對 INFICON Transpector 氣體分析儀所期望的任何可靠性。
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