德國ERS

 　　德國ERS公司是 擁有強生產(chǎn)能力的開發(fā)公司，可實現(xiàn)真正的高產(chǎn)量交付性能目標。ERS的核心技術(shù)是為可靠的產(chǎn)品提供的晶圓溫度測試技術(shù)，這種技術(shù)不僅能滿足客戶需求，而且提供基準開發(fā)。德國ERS公司于1970年生產(chǎn)出 個用于晶圓測試的溫度卡盤，并從此引 業(yè)界。在80年代末，隨著ERS的SuperCool®問世，自動晶圓探針臺的真正生產(chǎn)中的冷測試成為可能。到90年代早期，ERS轉(zhuǎn)向了純空氣冷卻系統(tǒng)，完全改變了人們對其可靠性的期望。